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压阻式压力传感器简单介绍
发布时间: 2020/4/22 14:47:22  点击:

压阻式压力传感器采用单晶硅片为弹性元件,利用单晶硅的压阻效应而构成,又称扩散硅压力传感器。它利用集成电路的工艺,将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化,再由桥式电路获得相应的电压输出信号。


压阻式压力传感器具有精度高、工作可靠、频率响应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、结构简单、便于实现显示数字化等特点,而且可以测量压力,稍加改变,还可以测量差压、高度、速度、加速度等参数。同时压阻式压力传感器还具有极低的价格。


在航天和航空工业中压力是一个关键参数,对静态和动态压力,局部压力和整个压力场的测量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面的较理想的传感器。


压阻式传感器广泛地应用航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量。此外,在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式压力传感器。


随着微电子技术和计算机的进一步发展,压阻式传感器的应用还将继续迅速发展。



T1030 通用性压阻式压力变送器、传感器






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